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日本三丰超高精度二次元影像测量仪

三丰超高精影像测量仪-ULTRA QV404系列

ULTRA QV404 是实现了世界顶级测量精度E1XY=(0.25+L/1000)μm 的超高精度CNC 影像测量系统。 为了将直线度误差控制至最小,X、Y、Z3轴移动方式采用了高精度三坐标等使用的空气轴承。 通过FEM (有限要素法) 解析后的最佳设计实现了本体的高刚性化。 作为基准的测长方式采用了分辨力为0.01μm的光学式线性编码器。该编码器的线性膨胀系数为零,将温度变化产生的误差控制到最小限度。

规格:

 

ULTRA QV 404

测量范围 (X×Y×Z)

400×400×200mm

放大倍率转换系统

PPT1X-2X-6X

分辨力

0.01 μm

长度测量装置

线性编码器

影像测量方法

CCD 照相机

测量精度*1 *2

E1X, E1Y

(0.25+L/1000)μm

E1Z

(1.5+2L/1000)  μm  (测量范围:  200mm) (1.0+2L/1000) μm (测量范围: 10 - 60mm)

E2XY

(0.5+2L/1000)μm

LAF重复精度*3

σ= 0.4μm

照明装置 *4

同轴照明/ 透射照明/ 程控环形照明

工作台玻璃尺寸

493×551mm

台面最大承重 *5

40kg

尺寸 (W×D×H)

1172×1735×1910mm

重量 (  包括机器设置台 )

约 2150kg

*1 L = 任意2 点之间的尺寸(mm) 。

*2 依据三丰公司的检查方法。

*3 仅限于带LAF 的机型。

*4 冷光源照明用卤素灯泡和光纤。

*5 不包括极端的载重、集中载重。

 

 

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